氧氮氫分析儀是快速、準確分析氧、氮、氫元素的、高性能儀器。同一臺儀器實現熔融提取和熱提??；熱提取分析時間可調。不但能夠采用標準參考物質進行儀器的校準，也能夠利用選配的氣標校準單元來進行儀器校準，另外儀器還能夠與外置紅外爐和質譜儀聯用，使對于擴散氫和超低含量氫的檢測得以實現。
氧氮氫分析儀氧的測定：
生產現場基本上都在使用紅外測氧儀測定氧含量。樣品由進樣器掉進光譜純石墨坩堝中，樣品在高溫坩堝中熔化，樣品中的氧與熱坩堝表面的碳起反應，絕大部分生成一氧化碳，極微量生成二氧化碳。由氣泵將氣體送入催化劑爐子，CO轉換為CO2，然后通過紅外池檢測CO2，經過電腦處理換算成氧的含量。
氮和氫的測定：
氮和氫均以分子形態被提取，一般都用熱導池檢測。有個別儀器，氫的檢測是先把氫轉換成水蒸汽，用紅外檢測池檢測水蒸汽的濃度，達到檢測氫的目的。
使用注意事項：
1.氧氮氫分析儀在初次啟用前，應該對連接點、焊點、閥門等進行檢漏，以確?？諝庵械难醪粫礉B進入管道及儀器內部，造成測量數值偏高。
2.再次使用儀器前，要進行管道系統凈化，將漏入的空氣除干凈，同時確保連接取樣管路時沒有漏入空氣。
3.樣氣中氧含量的變化會受管道材質及表面粗糙度影響，因此一般連接管路選用銅管或拋光過的不銹鋼管，而不用塑料管、橡膠管等。
4.微量元素分析時，要避免各種管件、閥門、表頭等死角對樣氣造成污染，因此必須盡可能的簡化氣路系統，連接件死角要小，以防止溶解氧逸出造成污染，使用水封、油封及臘封等設備，才能較好的確保數據的。
